产品介绍

VPS-RF40 中小型真空等离子清洗机

VPS-RF40是一款中小型真空等离子清洗机,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用品牌高性能旋片真空泵,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体。进口高品质等离子发生器,产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体能与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂覆等。
产品详情

产品简介:VPS-RF40是一款中小型真空等离子清洗机,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用品牌高性能旋片真空泵,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体。进口高品质等离子发生器,产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体能与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂覆等。


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产品特点:1)等离子清洗机清洗效率高,应用范围广;(2)对清洗样品,没有任何外观尺寸、材质等要求;(3)在清洗过程中,温升比较小,基本可达到常温处理;(4)射频功率可无极连续可调,高效的特制电极是产生均匀等离子体的保证;(5)特有的过载、过热和短路保护电路,可保证射频电源的稳定和安全;(6)设备采用模块化设计,安装与维护都极为简单。
 

产品应用:去除表面有机物、提高粘接性、提高表面润湿性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度

       
产品参数:

型号

VPS-RF40


等离子频率

13.56MHz自动阻抗匹配


腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)


真空泵

油泵/干泵(可选)


极限真空

5Pa


功率

0-300W(连续可调)


腔体尺寸

350(L)*400(D)*300(H)mm


腔体容积

40L


腔体有效处理面积

300L×310Dmm


气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)


极板间距

35mm(根据产品尺寸可调)


处理层数

4


控制方式

PLC+触摸屏


电源

AC220V/50Hz


外形尺寸

680mm(L) X 800m (w) X1500mm (H)