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PLASMA ETCHING & DEPOSITION

等离子刻蚀与沉积设备

为研发和精密制造提供干法刻蚀、表面微结构调整及薄膜沉积相关设备方案。

SELECTION OVERVIEW

等离子刻蚀与沉积设备选型概览

为研发和精密制造提供干法刻蚀、表面微结构调整及薄膜沉积相关设备方案。 深光达可根据材料、工件尺寸、目标工艺、洁净等级及生产节拍提供样品测试和设备选型建议。

工艺评估先验证材料效果
参数匹配根据尺寸与产能选型
样品测试输出可复用工艺数据
定制集成支持治具与自动化接口
AVAILABLE CONFIGURATIONS

对应产品与配置

产品参数分别来自规格书 4.0 或原网站已有产品资料。

PROCESS MATCHING SUPPORT

让设备配置匹配材料与产能

提供样品测试、工艺评估、设备选型与自动化集成支持。

获取选型建议