射频真空系列VPS-RF05
真空等离子清洗机
VPS-RF05是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。 本设备采用触摸屏+PLC 可编程控制器，处理参数可以在触摸屏上任意设定，具有手动/ 自动切换功能。自动操作采用“一键式”，工作过程完全由计算机自动控制完成。手动操作由用户在手动模式界面上自行完成。
- 腔体
- 5L
- 功率
- 射频电源，0-200W连续可调
- 频率
- 13.56 MHz
