射频真空系列

VPS-RFQ05 真空等离子清洗机

Name: VPS-RFQ05 真空等离子清洗机
Brand: 深光达科技

VPS-RFQ05是一款高纯石英腔体款，专为超高洁净、无金属污染、等离子可视化观测、可使用弱腐蚀工艺气体的高端研发场景打造，区别常规不锈钢腔体机型。适用场景：高校科研实验室、新材料研发、微流控、PDMS 键合、光学元件、半导体晶圆、生物医疗器件、敏感材料表面改性、微量样品精密处理。

腔体容积5L

电源功率射频电源，0-300W连续可调，自动匹配阻抗

发生器频率13.56 MHz

处理层数单层

TECHNICAL SPECIFICATIONS

技术参数

以下参数来自“VPS-RFQ05 真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。

PROCESS MATCHING SUPPORT

提供样品评估、工艺开发、配方优化与自动化接口支持。

PURCHASING GUIDE

参数来自规格书4.0；最终腔体、泵组、气路、自动化接口和交付范围以确认配置为准。

腔体尺寸Φ160（直径）× 210（D）mm

腔体容积5L

功率射频电源，0-300W连续可调，自动匹配阻抗

频率13.56 MHz

规格书中的标准项用于基础选型；真空泵、气路、工装、冷却、数据接口及自动化上下料等可选项需结合项目确认，页面不将可选项误写为标配。

可用气体与配方取决于电源、气路配置、材料和目标；氧气、氩气、氮气等必须以该型号正式配置和样品测试为准。

适用材料和行业不能只按设备名称判断。建议同时确认工件尺寸、有效装载、污染物、后续工序、目标节拍和验收指标。

建议保留未处理对照组，并记录设备、装载、工艺条件与检测结果。接触角、达因值、附着力、清洁度、均匀性和节拍等指标按项目选择，不使用无测试条件的绝对化数据。

如何确认这个型号是否适合我的工件？

请提供材料、长宽高、单批数量、当前问题、后续工序和目标节拍，先核对有效装载与工艺窗口。

页面参数是否等同最终交付配置？

页面用于初步选型；涉及泵组、气路、工装、自动化和安全配置时，以正式技术协议和确认规格为准。

能否先做样品测试？

可以。建议同时提供未处理对照样和验收方法，以便将测试结果转化为设备选型依据。

索取对应规格资料，或先进行样品验证。