腔体压力如何影响等离子去胶均匀性?从晶圆边缘的一圈残胶说起
晶圆中央去净、边缘仍有残胶,该升压还是降压?通过胶厚计算示例,了解腔体压力、氧气流量与去胶均匀性的关系,以及如何验证合适的工艺压力。
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