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MOLDING PLASMA ACTIVATION

塑封前等离子表面处理

在环氧塑封前清洁并活化引线框架、封装基板和芯片周边界面,改善塑封料粘接,帮助降低分层、裂纹与慢性渗气风险。

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半导体塑封前等离子活化工艺图
PROCESS PURPOSE

塑封界面的清洁与活化

覆盖引线框架、基板、芯片表面及复杂台阶区域,改善塑封料与多材料界面的结合。

01 · 清洁

去除有机残留

降低脱模剂、油污和加工残留对塑封粘接的影响。

02 · 活化

提高表面能

改善环氧塑封料对金属、树脂和陶瓷界面的润湿。

03 · 防护

降低分层隐患

帮助减少界面脱层、潮气路径和热循环失效风险。

VALIDATION FLOW

建议工艺验证流程

  1. 梳理界面确认引线框架、基板、芯片和镀层材料。
  2. 评估来料识别油污、脱模剂和存储污染。
  3. 验证均匀性确认复杂结构与阴影区域处理效果。
  4. 可靠性检查结合扫描、分层与热湿试验评估。
应协调等离子处理与塑封之间的节拍,减少清洁后长时间暴露导致的二次污染。

验证塑封前处理方案

可按器件结构、塑封料体系和产线节拍制定样品测试。