客户问题与传统处理的不足
PDMS与玻璃原始表面化学惰性，直接贴合时界面强度和密封稳定性往往不足。
单纯增加胶量、提高烘烤温度或反复使用溶剂，可能增加材料负担和过程波动，却没有解决表面污染与低表面能这一界面根因。
PROCESS SOLUTION
PDMS与玻璃键合等离子处理方案
PDMS与玻璃原始表面化学惰性，直接贴合时界面强度和密封稳定性往往不足。
等离子处理机理
含氧等离子处理可在表面形成更易缩合的活性基团，处理后及时贴合有助于形成稳定界面。
推荐设备方向
实验与小批量通常使用小型真空射频设备；尺寸、装载方式和均匀性需要按芯片结构验证。
进入产品中心 →工艺气体选择
以氧气或含氧工艺作为常见起点，同时控制处理后暴露时间、洁净度和贴合压力。
VALIDATION
用样品测试建立量产依据
处理参数范围应服务于可量化验收，不在没有材料和测试条件时承诺绝对效果。
提交信息
材料、尺寸、数量与缺陷
确认目标
后续工序与验收指标
设计组合
设备、气体和对照组
样品处理
记录关键过程条件
效果检测
水接触角、键合完整性、泄漏、剥离或爆破测试、时效稳定性
结果复核
比较对照并确认窗口
设备建议
匹配装载量与节拍
可以直接给出固定工艺参数吗？
不能。相同材料也会因配方、污染物、结构和后续工序不同而需要不同参数，应通过对照样建立可用窗口。
如何选择真空或常压设备？
实验与小批量通常使用小型真空射频设备；尺寸、装载方式和均匀性需要按芯片结构验证。
测试时重点记录什么？
建议至少记录水接触角、键合完整性、泄漏、剥离或爆破测试、时效稳定性，并保留未处理对照样。