以下参数来自“VPS-WPC22 晶圆真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 发生器功率 | 射频电源0-300W连续可调 自动匹配阻抗 |
|---|---|
| 发生器频率 | 13.56 MHz |
| 腔体容积 | 22L |
| 腔体尺寸 | 380mm(L)×380mm(W) ×155(H)mm |
| 处理层数 | 单层 |
| 适用产品 | 4-12寸晶圆 |
| 质量流量计 | 0-100 SCCM |
| 真空传感器 | 皮拉尼真空计 |
| 气路设计 | 有限元分析模拟均匀分布气路， 保证清洗刻蚀均匀性 |
| 气体通道 | 配置2路工艺气路， 支持O₂/Ar/N₂/H₂等（可定制） |
| 控制方式 | PLC+触摸屏（全自动/手动） |
| 电源供应 | AC220V 50Hz |
| 整机功率 | 约1.5KW |
| 外形尺寸 | 500mm(L)×450mm(W) ×500mm(H) |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
提供样品评估、工艺开发、配方优化与自动化接口支持。
参数来自规格书4.0；最终腔体、泵组、气路、自动化接口和交付范围以确认配置为准。
规格书中的标准项用于基础选型；真空泵、气路、工装、冷却、数据接口及自动化上下料等可选项需结合项目确认，页面不将可选项误写为标配。
可用气体与配方取决于电源、气路配置、材料和目标；氧气、氩气、氮气等必须以该型号正式配置和样品测试为准。
适用材料和行业不能只按设备名称判断。建议同时确认工件尺寸、有效装载、污染物、后续工序、目标节拍和验收指标。
按工艺问题查找方案 →建议保留未处理对照组，并记录设备、装载、工艺条件与检测结果。接触角、达因值、附着力、清洁度、均匀性和节拍等指标按项目选择，不使用无测试条件的绝对化数据。
请提供材料、长宽高、单批数量、当前问题、后续工序和目标节拍，先核对有效装载与工艺窗口。
页面用于初步选型；涉及泵组、气路、工装、自动化和安全配置时，以正式技术协议和确认规格为准。
可以。建议同时提供未处理对照样和验收方法，以便将测试结果转化为设备选型依据。
