VPS-RF110 光通信行业专用真空等离子清洗机

VPS-RF 110光通信行业专用真空等离子清洗机采用13.56MHz射频电容耦合CCP等离子源，低温分子级表面处理，专门针对光通信COC共晶、金丝键合、FA透镜耦合、底部填充、管壳封接前处理。可去除有机残留、纳米金属氧化层、微颗粒污染；提升AuSn共晶浸润性、降低空洞率；提升键合拉力、UV胶粘接可靠性，减少光器件耦合漂移与失效风险。 支持Ar、O₂、Ar‑H₂还原性工艺，适配陶瓷载板、光芯片、TO管座、FA光纤阵列、PCB光板等精密器件，全程低温，不损伤芯片光敏面、金镀层。