VPS-MF110等离子清洗机由反应腔（又称真空腔）、真空系统、放电系统、电控系统、进气流量控制系统组成。 反应腔由真空室和电极组成，是等离子体反应空间，待处理物品置于反应腔内；真空系统由真空计、真空泵以及真空管路组成，负责将反应腔内的空气抽净并在工作时维持适当的真空度；放电系统为反应腔提供信号和能量，以激发反应腔内的反应气体电离形成所需要的等离子体；电控系统的作用是按照最优的工艺参数和步骤控制设备的动作过程，并维持工艺参数的稳定；进气流量控制系统主要由流量计和电磁阀门组成，其作用是精确控制反应气体的进气流量，并维持工作期间所需要的真空度。
以下参数来自“VPS-MF110真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 中频电源0-5000W连续可调 |
|---|---|
| 频率 | 40 kHz |
| 腔体容积 | 115L |
| 腔体尺寸 | 500mm(L)×500mm(W) ×480(H)mm |
| 处理层数 | 7层 |
| 托盘间距 | H：60mm |
| 处理面积 | 435mm(L)*385mm(W) |
| 流量控制 | 0-500mL/m MFC气体质量流量计精确控制流量 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空泵 | 油泵+罗茨泵 |
| 真空测定系统 | 皮拉尼真空计 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 控制过程 | 全自动 / 手动 |
| 电源供应 | AC380V 50Hz |
| 气管接口 | 直径8mm |
| 气体压力 | 0.3~0.6MPa |
| 整机功率 | 4.5KW |
| 外形尺寸 | 930mm(L)×990mm(W) ×1750mm(H) |
| 设备重量 | 500kg |
| 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 | 可根据不同产品的尺寸及产能等实际需求定制设备 |
提供样品评估、工艺开发、配方优化与自动化接口支持。
参数来自规格书4.0；最终腔体、泵组、气路、自动化接口和交付范围以确认配置为准。
规格书中的标准项用于基础选型；真空泵、气路、工装、冷却、数据接口及自动化上下料等可选项需结合项目确认，页面不将可选项误写为标配。
可用气体与配方取决于电源、气路配置、材料和目标；氧气、氩气、氮气等必须以该型号正式配置和样品测试为准。
适用材料和行业不能只按设备名称判断。建议同时确认工件尺寸、有效装载、污染物、后续工序、目标节拍和验收指标。
按工艺问题查找方案 →建议保留未处理对照组，并记录设备、装载、工艺条件与检测结果。接触角、达因值、附着力、清洁度、均匀性和节拍等指标按项目选择，不使用无测试条件的绝对化数据。
请提供材料、长宽高、单批数量、当前问题、后续工序和目标节拍，先核对有效装载与工艺窗口。
页面用于初步选型；涉及泵组、气路、工装、自动化和安全配置时，以正式技术协议和确认规格为准。
可以。建议同时提供未处理对照样和验收方法，以便将测试结果转化为设备选型依据。
