VPS-MF05是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校、企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生小于1~2Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，确保稳定产生高密度、高能量的离子。 等离子体与材料发生复杂的物理、化学反应，可实现清洗、活化、刻蚀与涂敷等多种工艺功能。设备采用触摸屏+PLC可编程控制器，处理参数可在触摸屏上任意设定，具有手动/自动切换功能。自动操作采用"一键式"，工作过程完全由计算机自动控制完成。
以下参数来自“VPS-MF05真空等离子清洗机V4.0.docx”。实际交付配置可根据工艺需求定制。
| 功率 | 中频电源，0-600W连续可调 |
|---|---|
| 频率 | 40kHz |
| 放电形式 | CCP离子反应放电模式 |
| 腔体材质 | 进口316镜面不锈钢，军工级密封 |
| 腔体容积 | 5L |
| 腔体尺寸 | Φ150（直径）× 280（D）mm |
| 真空计 | 日本SMC |
| 气体流量控制器 | 精密针阀式浮子流量器（0-200sccm） |
| 气路设计 | 腔体均匀进气气路设计，保证清洗刻蚀均匀性 |
| 气路数量 | 配置2路工艺气路，支持O₂/Ar/N₂/H₂等 |
| 真空泵 | 油泵 |
| 真空管路 | 不锈钢管路 |
| 控制方式 | PLC + 触摸屏 |
| 控制过程 | 全自动/手动 |
| 电源供应 | AC220V 50Hz |
| 气体压力 | 0.3~0.6MPa |
| 整机功率 | 1.5KW |
| 外形尺寸 | 615mm(L) × 525mm(W) × 480mm(H) |
提供样品评估、工艺开发、配方优化与自动化接口支持。
参数来自规格书4.0；最终腔体、泵组、气路、自动化接口和交付范围以确认配置为准。
规格书中的标准项用于基础选型；真空泵、气路、工装、冷却、数据接口及自动化上下料等可选项需结合项目确认，页面不将可选项误写为标配。
可用气体与配方取决于电源、气路配置、材料和目标；氧气、氩气、氮气等必须以该型号正式配置和样品测试为准。
适用材料和行业不能只按设备名称判断。建议同时确认工件尺寸、有效装载、污染物、后续工序、目标节拍和验收指标。
按工艺问题查找方案 →建议保留未处理对照组，并记录设备、装载、工艺条件与检测结果。接触角、达因值、附着力、清洁度、均匀性和节拍等指标按项目选择，不使用无测试条件的绝对化数据。
请提供材料、长宽高、单批数量、当前问题、后续工序和目标节拍，先核对有效装载与工艺窗口。
页面用于初步选型；涉及泵组、气路、工装、自动化和安全配置时，以正式技术协议和确认规格为准。
可以。建议同时提供未处理对照样和验收方法，以便将测试结果转化为设备选型依据。
