真空等离子清洗机的腔体参数是评估设备性能和处理能力的重要指标之一，主要包括以下几个方面：
一、腔体材质
不锈钢：不锈钢腔体具有良好的耐腐蚀性和强度，能够承受高温和真空环境，是真空等离子清洗机中常见的腔体材质。
铝合金：铝合金腔体相对较轻，具有良好的导热性和加工性能，适用于某些特定应用场景。
二、腔体尺寸
内腔直径：内腔直径决定了能够处理的工件尺寸。较大的内腔直径可以容纳更大的工件，提高处理效率。
深度：腔体的深度影响工件在等离子体中的暴露时间和处理效果。较深的腔体可以提供更充分的处理时间，但也可能增加设备的整体尺寸和成本。
容积：腔体的容积是内腔直径和深度的综合体现，它决定了设备能够同时处理的工件数量和处理能力。
三、真空度
极限真空度：极限真空度是指腔体在抽真空后所能达到的最低气压值。较低的极限真空度有助于减少背景气体的干扰，提高等离子体的纯度和清洗效果。
工作真空度：工作真空度是指设备在正常运行时腔体内的气压值。这个参数通常根据清洗工艺的要求进行设置和调整。
四、其他参数
密封性能：腔体的密封性能对于维持真空度和防止气体泄漏至关重要。优质的密封件和密封结构能够确保腔体在长时间运行中的稳定性和可靠性。
观察窗：部分真空等离子清洗机配备有观察窗，允许操作员在设备运行过程中观察腔体内的状态。这有助于监控清洗过程并及时调整工艺参数。
