产品简介：
VPS-RF160真空等离子清洗机利用等离子体来清洗物质表面，以达到清洁，活化、改性、刻蚀等目的。可以应用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
VPS-RF160主要由控制单元、真空腔体和真空泵三个部分，通过数控技术，可以轻松对各种参数进行调节，因为清洗过程在真空腔室中进行，所以清洗后不用干燥，操作简单，效率高。
产品特点：欧美放电技术，专利型放电结构，科学仿真等离子体分布均匀，处理效果均匀
产品应用：提高亲水性、改善粘接性、表面微刻蚀、有机物去除、氧化物还原、提高印刷油墨附着力
产品参数：
型号 | VPS-RF160 |
等离子频率 | 13.56MHz 自动阻抗匹配 |
工作真空度 | 10-100Pa |
真空泵 | 油泵/干泵（可选） |
功率 | 0-1000W可调 |
腔体材质 | 进口级316L不锈钢/航空铝合金（可选） |
腔体尺寸 | 560(W)*610(D)*500(H)mm |
腔体容积 | 165L |
单层有效处理面积 | W520mm x D520mm |
气路数量 | 2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等（腐蚀性气体需定制） |
处理层数 | 8层（可定制） |
控制方式 | PLC+触摸屏 |
电源 | AC380V,50/60Hz |
外形尺寸 | 950mm(L)×1300mm(W) ×1850 mm(H) |
