产品简介：
VPS-RF120真空等离子清洗设备主要由真空腔体、高频等离子电源、真空产生及测量系统、工艺气体系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空到一定的真空度后，通入工艺气体，在高频发生器作用下，在阳极和阴极之间形成高频交变电场，将气体进行电离，形成等离子体。当气体到达等离子状态时，气态分子会裂变成许多高度活跃的粒子。等离子清洗的机理正是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”，达到去除物体表面污渍或改善表面活性的目的。
产品特点：欧美放电技术，专利型放电结构，科学仿真等离子体分布均匀，处理效果均匀
产品应用：去除表面有机物、表面油污清洗、提高表面亲水性、改善表面粘接性、提高表面附着力、提高绑定性能
产品参数：
型号 | VPS-RF120 |
等离子频率 | 13.56MHz 自动阻抗匹配 |
工作真空度 | 10-100Pa |
真空泵 | 油泵/干泵（可选） |
功率 | 0-1000W可调 |
腔体材质 | 进口级316L不锈钢/航空铝合金（可选） |
腔体尺寸 | 500(W)*500(D)*490(H)mm |
腔体容积 | 120L |
单层有效处理面积 | 450mm（W）*430mm(D) |
气路数量 | 2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等（腐蚀性气体需定制） |
处理层数 | 8层（可定制） |
控制方式 | PLC+触摸屏 |
电源 | AC380V,50/60Hz |
外形尺寸 | 950mm(L)×1100mm(W) ×1800 mm(H) |
