产品介绍

VPS-RF80 真空等离子清洗机

产品简介:VPS-QZ05石真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。即放电能量从处理器外部施加,可以避免电极的腐蚀和反应物在极板沉积的问题产品应用:PDMS键合、引入特定官能团、等离子灰化、表面亲疏水改性、提高粘接性产品特
产品详情

产品简介:

VPS-RF80真空等离子清洗机组成主要分为五大部分:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统以及真空泵系统,工作的射频频率为13.56MHz。等离子体是物质的一种状态。可以通过人为制造电场并改变电场存在的空间正负压强产生高速活性基团、离子、电子、原子、光子等;这些物质总体上仍然保持电中性状态。真空等离子清洗机就是在真空腔里通过利用射频电源起辉产生这些游离态的组成性质来接触轰击被处理物体的表面,能用于有机膜去除、界面活化、细微研磨、降低界面损伤的一种装置,可以提高材料表面的亲水及湿润性、去除表面有机物从而实现清洁改性等目的。


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产品特点:欧美放电技术,专利型放电结构,科学仿真等离子体分布均匀,处理效果均匀

产品应用:去除表面有机物、表面油污清洗提高表面亲水性改善表面粘接性、提高表面附着力、提高绑定性能

       
产品参数:

型号

VPS-RF80

等离子频率

13.56MHz 自动阻抗匹配

腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)

腔体尺寸

460(L)*460(D)*350(H)mm

腔体容积

80L

腔体有效处理面积

W420mm x D400mm

工作真空度

10-100Pa

真空泵

油泵/干泵(可选)

功率

0-1000W连续可调

气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)

处理层数

6

控制方式

PLC+触摸屏

电源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

920mm(L)×1100mm(W) ×1800mm(H)