VPS-RF10是一款小型科研用射频真空等离子清洗机，拥有多层处理电极，有效提高腔体利用率，满足多种清洗需求 。其原理是利用高频的交变电场作用于真空气体中，形成大量的等离子体，通过复杂的物理和化学过程来去除材料表面的污染物。采用这种方法能够提升材料的粘附性与湿润性，去除不同类型的污染物和杂质，从而为之后的工序奠定良好的基础。
产品特点：进口等离子电源电路技术、独有放电结构，确保等离子体均匀分布
产品应用：提高亲水性、提高粘接性、有机物清洗、PDMS键合、硅片玻璃清洗、氧化物还原
产品参数：
型号 | VPS-RF10 |
等离子频率 | 13.56MHz自动阻抗匹配 |
极限真空度 | 1Pa |
功率 | 0-300W（可调） |
腔体尺寸 | 230(L)*270(D)*200(H)mm |
腔体容积 | 11L |
单层有效处理面积 | 210（L）×220（D）mm |
处理层数 | 3层 |
极板间距 | 58mm |
腔体材质 | 进口级316L不锈钢 |
气路数量 | 2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等（腐蚀性气体需定制） |
控制方式 | PLC+触摸屏 |
电源 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H) |
