产品介绍

VPS-RF60 中型真空等离子清洗机

产品简介:VPS-QZ05石真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。即放电能量从处理器外部施加,可以避免电极的腐蚀和反应物在极板沉积的问题产品应用:PDMS键合、引入特定官能团、等离子灰化、表面亲疏水改性、提高粘接性产品特
产品详情

产品简介:

VPS-RF60是一款中型真空等离子清洗机,通过PLC提供稳定的过程控制,设备运行的实时参数通过触摸显示屏直观呈现,软件控制系统,操作简单,能接控制设备及设定各种清洗工艺曲线,并根据工艺不同进行设定、修改、存储、调用;软件自带分析功能,能对工艺曲线进行分析。软件控制系统自动的实时记录清洗工艺参数及温度曲线、时间、报警相关数据,保证产品清洗工艺的可追溯性。13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性与可重复性,多样化可选气体配置,灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案满足不同类型产品的清洗工艺要求。


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产品特点:欧美放电技术,专利型放电结构,科学仿真等离子体分布均匀,处理效果均匀

产品应用:去除表面有机物、表面油污清洗提高表面亲水性改善表面粘接性、提高表面附着力、提高绑定性能


       
 产品参数:

型号

VPS-RF60

等离子频率

13.56MHz 自动阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

功率

0-600W连续可调

腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)

腔体尺寸

400(W)*450(D)*380(H)mm

腔体容积

69L

单层有效处理面积

W365mm x D375mm

气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)

处理层数

6层(可定制)

控制方式

PLC+触摸屏

真空泵

油泵/干泵(可选)

电源

AC380V50/60Hz

外形尺寸

900mm(L)×1100mm(W) ×1800mm(H)